Bezolejový vzduchový kompresor pre polovodičové laboratóriá

Na vytvorenie spoľahlivých inžinierskych sietí pre presné výskumné zariadenia, zdroj od China Oil Free Air Compressor pre dodávateľov Semiconductor Labs. Vysoko čisté vzduchové riešenia spoločnosti DECHUAN využívajú viacvrstvové uhlíkové izolačné tesnenia na odstránenie stôp uhľovodíkov, čím sa zaisťuje nedotknutá kvalita plynu pre kritické leptanie kremíka.

Kritické požiadavky na čistotu plynu v čistých priestoroch

Pri výrobe polovodičov a tenkovrstvovej litografii môže aj jediná mikroskopická kvapka olejovej pary prenesená vzduchovým potrubím zničiť celú výrobnú dávku. Tento špecializovaný produkt je navrhnutý tak, aby spĺňal absolútne najvyššie štandardy čistoty:

• Dodávka vzduchu triedy 0 s certifikáciou TÜV: Naše systémy prechádzajú prísnym testovaním pri rôznych prevádzkových teplotách. Nezávislá analýza potvrdzuje absolútne nulové stopy oleja vo výstupnom prúde vzduchu.

• Vnútorné vzduchové cesty bez korózie: Každý kus potrubia, zväzok chladiča a separačná matrica za kompresnou komorou sú vyrobené z prvotriednej nehrdzavejúcej ocele, aby sa zabránilo kontaminácii vzduchových vedení čistých priestorov šupinkami hrdze.

• Pokročilá integrácia Elektronikon®: Integrovaný ovládač podrobne sleduje prevádzkové metriky a je vybavený proaktívnym bezpečnostným vypnutím, aby sa zaistilo, že sa do laboratórnej siete nedostane žiadny nečistý vzduch.

Vysoké náklady na mikrokontamináciu v elektronike

Pri výrobe polovodičových plátkov môže jedna kvapka olejového aerosólu kontaminovať celé prostredie čistých priestorov, zničiť tisíce kremíkových plátkov a spôsobiť milióny stratených výrobných časov. Tradičné vzduchové kompresory nemôžu zaručiť absolútnu čistotu bez uhľovodíkov, ktorá je potrebná pre tieto procesy v nanometrovom meradle.

Špecializovaný bezolejový vzduchový kompresor pre Semiconductor Labs zaručuje čistú bezpečnosť procesu:

• Certifikovaný prietok vzduchu CLASS 0: Prísne testované TÜV v extrémnych teplotných a tlakových rozsahoch, aby sa zabezpečila absolútna nulová prítomnosť oleja.

• Vnútorné časti bez pevných častíc: Predchladiče z nehrdzavejúcej ocele a hviezdicové výmenníky tepla eliminujú oxidačné vločky alebo chemické uvoľňovanie v dráhe vzduchu.

• Elektronický monitorovací štít: Proaktívne alarmy údržby a automatické vypínanie pri poruchách zabraňujú odchýlkam systému skôr, ako sa dostanú k nástrojom v čistých priestoroch.

Parametre technickej čistoty

• Menovitý výkon systému: 55kw – 900kw konfigurácie s vysokou hustotou.

• Objemové dodávané množstvo: 4,2 – 148,5 m³/min výstup čistého prúdu.

• Klasifikácia obsahu oleja: Certifikácia ISO 8573-1 Trieda 0 úplne bez oleja.

• Usporiadanie chladenia: Chladenie kvapaliny z nehrdzavejúcej ocele zabraňujúce úniku chemikálií.

Výkonnostné referenčné podmienky pre jednotku boli merané podľa prílohy C, 4. vydanie (2009) normy ISO 1217:

· Relatívna vlhkosť: 0%

· Absolútny vstupný tlak: 1 bar

· Vstupná teplota: 20°C Rýchlosť vypúšťania (FAD) bola nameraná pri nasledujúcich prevádzkových tlakoch:

Typ konštantnej rýchlosti:

·  -7,5 bar typ: 7 bar

· Typ -8,6 bar: 7 bar

· Typ -10 bar: 9 bar

Typ VSD:

· Typ -8,6 bar: 7 bar

· -10,4 bar typ: 9 bar

· (2) Hladina váženého emisného akustického tlaku triedy A pracovnej stanice (LpWSAd). Merané podľa ISO 2151:2004 (použitím metódy snímania intenzity zvuku 150 9614/2). Novo pridaný korekčný faktor je úplne neistá hodnota (KpAd), v súlade s testovacím kódom.

· (3) Hmotnosť je len orientačná; má prednosť dodaná skutočná hmotnosť.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Podľa normy ISO 1217, príloha C, 4. vydanie (2009), sú referenčné podmienky výkonu jednotky nasledovné:

· Relatívna vlhkosť: 0%

· Absolútny vstupný tlak: 1 bar

· Vstupná teplota: 20°C

Výtlak FAD sa meria pri nasledujúcich prevádzkových tlakoch:

Modely s konštantnou rýchlosťou:

-7,5 bar modely: 7 bar

-8,6 bar modely: 7 bar

-10 bar modely: 9 bar

Modely VSD:

-8,6 bar modely: 7 bar

-10,4 bar modely: 9 bar

(2) Hladina váženého emisného akustického tlaku triedy A pracovnej stanice (LpWSAd). Merané podľa ISO 2151:2004 (metóda snímania intenzity zvuku ISO 9614/2). Novo pridaný korekčný faktor KpAd je neistý a je v súlade s testovacím kódom.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Hmotnosť je len orientačná; má prednosť skutočná hmotnosť.

ZR/ZT 200-275 (FF)

- Relatívna vlhkosť: 0%

-Absolútny vstupný tlak: 1bar

- Vstupná teplota: 20°℃

Rýchlosť vybíjania (FAD) bola meraná pri nasledujúcich prevádzkových tlakoch

Typ konštantnej rýchlosti:

-7,5 bar typ: 7 bar

-8,6 bar typ: 7 bar

-10 bar typ: 9 bar

Typ VSD:

-8,6 bar typ: 7 bar

-10,4 bar typ: 9 bar

(2) Hladina váženého emisného akustického tlaku triedy A pracovnej stanice (LpWSAd).

Merané podľa ISO 2151:2004 (použitím 150 9614/2 (metóda skenovania intenzity zvuku).

Novo pridaný korekčný faktor je úplne neistá hodnota (KpAd), v súlade s testovacím kódom.

(3) Hmotnosť je len orientačná; má prednosť dodaná skutočná hmotnosť.

300 – 750 ZR

Výkonnostné referenčné podmienky pre jednotku boli merané podľa prílohy C, 4. vydanie (2009) normy ISO 1217:

· Relatívna vlhkosť: 0%

· Absolútny vstupný tlak: 1 bar

· Vstupná teplota: 20°C Rýchlosť vypúšťania (FAD) bola nameraná pri nasledujúcich prevádzkových tlakoch:

Typ konštantnej rýchlosti:

·  -7,5 bar typ: 7 bar

· Typ -8,6 bar: 7 bar

· Typ -10 bar: 9 bar

Typ VSD:

· Typ -8,6 bar: 7 bar

· -10,4 bar typ: 9 bar

· (2) Hladina váženého emisného akustického tlaku triedy A pracovnej stanice (LpWSAd). Merané podľa ISO 2151:2004 (použitím metódy snímania intenzity zvuku 150 9614/2). Novo pridaný korekčný faktor je úplne neistá hodnota (KpAd), v súlade s testovacím kódom.

· (3) Hmotnosť je len orientačná; má prednosť dodaná skutočná hmotnosť.

ZR 200X-400X

Výkonnostné referenčné podmienky pre jednotku boli merané podľa prílohy C, 4. vydanie (2009) normy ISO 1217:

· Relatívna vlhkosť: 0%

· Absolútny vstupný tlak: 1 bar

· Vstupná teplota: 20°C Rýchlosť vypúšťania (FAD) bola nameraná pri nasledujúcich prevádzkových tlakoch:

Typ konštantnej rýchlosti:

·  -7,5 bar typ: 7 bar

· Typ -8,6 bar: 7 bar

· Typ -10 bar: 9 bar

Typ VSD:

· Typ -8,6 bar: 7 bar

· -10,4 bar typ: 9 bar

· (2) Hladina váženého emisného akustického tlaku triedy A pracovnej stanice (LpWSAd). Merané podľa ISO 2151:2004 (použitím metódy snímania intenzity zvuku 150 9614/2). Novo pridaný korekčný faktor je úplne neistá hodnota (KpAd), v súlade s testovacím kódom.

· (3) Hmotnosť je len orientačná; má prednosť dodaná skutočná hmotnosť.

Prípadová štúdia pre laboratórium čistých priestorov

Výrobca elektroniky v Ázii nainštaloval špecializovaný vzduchový systém DECHUAN na dodávanie slučiek na generovanie vysoko čistého dusíka a pneumatických testovacích ramien. Predtým štandardné kompresory umožňovali, aby stopové olejové výpary migrovali cez inline filtre, poťahovali litografické šošovky a spôsobovali mikrotrhliny v povlakoch plátkov. Po inštalácii bezolejového vzduchového kompresora pre polovodičové laboratóriá laboratórium hlásilo nulové prípady kontaminácie linky súvisiacej s olejom, čím sa ušetrili značné náklady na čistenie a rekalibráciu čistých priestorov počas dvoch rokov nepretržitej prevádzky.

Zákazkové prispôsobenie komponentov a ovládanie

• Vylepšenie materiálu z nehrdzavejúcej ocele: Všetky štandardné vnútorné liate komponenty nahrádzame vysokokvalitnou nehrdzavejúcou oceľou, aby sme splnili prísne smernice o mikrokontaminácii.

• Pokročilé komunikačné protokoly: Jednotka má predinštalované špecializované komunikačné protokoly, ktoré umožňujú riadiacim strediskám čistých priestorov na diaľku monitorovať vzduchové metriky.

• Kompaktná štrukturálna pôdorysná plocha: Vnútorné usporiadanie je optimalizované tak, aby minimalizovalo pôdorys, čo uľahčuje inštaláciu v tesných laboratórnych suterénnych úžitkových priestoroch.

Časté otázky priemyselného kupujúceho

Otázka: Môžeme tento kompresor pripojiť priamo k filtračným slučkám s ultra vysokou čistotou (UHP)?

Odpoveď: Áno, náš výstup vzduchu je plne kompatibilný s pokročilými sušičmi sušiacich prostriedkov v čistých priestoroch a systémami filtrácie submikrónových častíc. Pretože surový vzduch neobsahuje žiadne olejové výpary, vaše špecializované filtre na mieste použitia sa nezanesú olejovou hmlou, čím sa predĺži životnosť filtra.

Otázka: Ako zaisťujú tesnenia typu Z nulovú migráciu oleja z prevodovky?

Odpoveď: Bezolejový vzduchový kompresor pre polovodičové laboratóriá je vybavený fyzickým atmosférickým vetracím priestorom medzi olejom mazaným krytom prevodovky a suchou kompresnou komorou. Špecializované bezkontaktné uhlíkové krúžkové tesnenia sú spárované s podtlakovými kanálmi, čo zaisťuje, že akákoľvek hmla prevodového oleja je úplne zablokovaná pred vstupom do prúdu čistého vzduchu.

Otázka: Čo sa stane, ak vnútorný teplotný senzor zaznamená abnormálne hodnoty?

Odpoveď: Ovládač Elektronikon® vzorkuje dôležité údaje niekoľkokrát za sekundu. Ak sa v ktorejkoľvek fáze zistí teplotný skok, systém okamžite spustí automatické vypnutie a zatvorí izolačné ventily, čím sa zabezpečí, že neochladený vzduch nikdy nebude prúdiť po prúde do citlivého zariadenia vášho laboratória.